第1650章 7nm时代,我们来了

的岗位上专注操作或监控数据，一切井然有序，只有轻微的蜂鸣和气流声。

几乎是刚一进门，众人的目光就不约而同地被吸引到生产区域中心位置。

那里摆放着一台体积明显更小的光刻设备。

稍微走近几步之后，就能看到银灰色的外壳上，“ArF1800”的标识清晰醒目。

此刻，一群技术人员正围拢在它的操作台和监控屏幕前，进行着流片前的最后确认。

头顶高处挂着一个标识牌：F3产线。

“就是它了。”吴明翰的声音带着自豪，引着众人走到一个安全的观察距离，“ArF1800，我们自己的深紫外光刻机。”

他指向设备，开始介绍，语速平稳却透着自信：“这台机器，光源、掩膜台、对准系统、控制系统，都充分继承了前代1500型和1200型的成熟设计理念和操作逻辑，并做了大量优化。尤其是光源的稳定性和对准精度，提升显著。”

他眼神中带着感激地看了一眼常浩南：“我们的工程师团队全程参与了上沪微电子的组装调试，对它的‘脾气’摸得很透，所以这次产线升级和人员培训非常顺利，也比预期更快地克服了最后的一些技术问题。”

就在这时，一盒承载着希望的硅晶圆基底，通过自动物料传输系统（AMHS）的机械臂，平稳地运送到了F3产线的起始工位。

常浩南还记得自己上次来到这里时的场景。

这些晶圆比他之前看到的要大上一圈。

“这是12英寸晶圆吧…”常浩南问道，“上次你们跟我提过的新硅片厂，已经投产了？”

“常院士好眼力！”

吴明翰赞道，脸上笑容更盛：

“ArF1800的高分辨率和高生产效率给我们省下了不少资源和精力，所以这次我们同

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